關於PECVD的百科
等離子體增強化學的氣相沉積法。實驗機理：藉助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在區域性形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。優點：基本溫度低；沉積速率快；成膜質量好，針...
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