關於sccm的百科
SCCM是質流單位，表示標準毫升每分鐘，與一般常用的流量單位是不同的，常見的流量單位例如：1毫升每秒，代表單位時間流過的體積，而質流是表示單位時間通過的氣體莫耳數，這種單位通常用於化學反應中，如CVD等需要精確控制原子成分比...
sccm是體積流量單位。英文全稱為ｓｔａｎｄａｒｄ－ｓｔａｔｅｃｕｂｉｃｃｅｎｔｉｍｅｔｅｒｐｅｒｍｉｎｕｔｅ，意思為標況毫升每分。體積流量：氣體體積流量係指單位時間輸送管道中流過的氣體體積。氣體體積有工作狀態下體積和標準狀態下體積之分，它們都是指在某個壓力和某個溫度情況下的體積，後者是...
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