關於euv的百科
euv光刻機原理是接近或接觸式光刻通過無限靠近,複製掩模板上的圖案;直寫式光刻是將光束聚焦為一點,通過運動工件台或鏡頭掃描實現任意圖形加工。投影式光刻因其高效率、無損傷的優點,是集成電路主流光刻技術。光刻機(MaskA...
DUV是深紫外線(DeepUltravioletLithography),EUV是極深紫外線(ExtremeUltravioletLithography)。從製程範圍來看,DUV基本上只能做到25nm,Intel憑藉雙工作台的模式做到了10nm,但是卻無法達到10nm以下。只有EUV能滿足10nm以下的...
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