关于PECVD的百科
等离子体增强化学的气相沉积法。实验机理:借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。优点:基本温度低;沉积速率快;成膜质量好,针...
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