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在加工芯片的過程中,光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段,將光束透射過畫着線路圖的掩模,經物鏡補償各種光學誤差,將線路圖成比例縮小後映射到硅片上,然後使用化學方法顯影,得到刻在硅片上的電路圖。在半導體芯片製造...
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