天合擴散用的什麼設備

天合擴散用的太陽能電池擴散設備，擴散爐內產生的廢氣，再通過管道從機台排風端排出，機台排風端安裝排風壓力控制閥和相應的排風壓力控制器。抽氣排風壓力穩定後，磷在硅片中的注入濃度穩定後，方塊電阻也隨之穩定，可以提升最終太陽能電池的效率。太陽能電池擴散設備是太陽能電池片形成PN結的核心組件，擴散爐的質量直接影響到電池片的性能。太陽能廠家流行的擴散方式有開管擴散、閉管擴散、軟着陸擴散，其中開管擴散的產量較低，偏磷酸的用量比較大。