二次電子如何產生

在入射電子束作用下被轟擊出來並離開樣品表面的樣品原子的核外電子叫做二次電子。二次電子一般都是在表層5至10nm深度範圍內發射出來的，它對樣品的表面形貌十分敏感，因此，能非常有效的顯示樣品的表面形貌。二次電子的能量較低，一般不超過50eV。大多數二次電子只帶有幾個電子伏的能量。