薄膜干涉檢查平面原理

1．兩板之間形成一層空氣膜，用單色光從上向下照射，入射光從空氣膜的上下表面反射出兩列光波，形成干涉條紋。如果被檢查平面是光滑的，得到的干涉圖樣必是等間距的。如果某處凹下去，則對應亮紋(或暗紋)提前出現；如果某處凸起來，則對應條紋延後出現。(注：“提前”與“延後”不是指在時間上，而是指由左向右的位置順序上)

2．旋轉法是一種方便快捷地判定被檢查平面上是凸起還是凹陷的經驗性方法，而不是能從定理或定律推導得出的理論結果。具體方法是將干涉圖樣及裝置一起在紙面內旋轉90°。旋轉方向是使裝置的劈形空氣膜劈尖向下，即裝置成“V”字形。