晶圓上的模具標記是什麼

晶圓上的模具標記是為了區分各個晶圓，利用激光轟擊晶圓，在晶圓表面上形成晶圓標記。以用於在各片晶圓之間進行區分，通過不同的晶圓標記識別不同的晶圓。標準的晶圓標記，是在晶圓表面向下形成圓形形狀的凹坑，並且凹坑的邊緣會由於激光能量的作用在晶圓表面形成向上的凸起。晶圓標記的監控方法，主要是通過掃描晶圓標記的波形信號，量測晶圓標記對應波形信號的峯值和谷值，從而監控激光能量大小，但是無法確定晶圓標記的形狀以及光路方位是否異常。