光刻機是幹什麼用的

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光刻機是幹什麼用的

光刻機是芯片製造的核心設備之一,按照用途可以分為好幾種:有用於生產芯片的光刻機;有用於封裝的光刻機;還有用於LED製造領域的投影光刻機,同時用於生產芯片的光刻機是中國在半導體設備製造上最大的短板。

光刻機(MaskAligner)又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統等。常用的光刻機是掩膜對準光刻,所以叫MaskAlignmentSystem.一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘乾、塗底、旋塗光刻膠、軟烘、對準曝光、後烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。Photolithography(光刻)意思是用光來製作一個圖形(工藝);在硅片表面勻膠,然後將掩模版上的圖形轉移光刻膠上的過程將器件或電路結構臨時“複製”到硅片上的過程。

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