平面度測量方法

平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。平面度測量是指被測實際表面對其理想平面的變動量。

測量方法：

1、塞尺測量法。塞尺主要用於間隙間距的測量，對平面度的測量只能進行粗測。塞尺使用前必須先清除塞尺和工件上的污垢與灰塵。使用時可用一片或數片重疊插入間隙，以稍感拖滯為宜。測量時動作要輕，不允許硬插。由於其精度不高，檢測效率較低，結果不夠全面，只能檢測零件邊緣。

2、液平面法。液平面法是用液平面作為測量基準面，液平面由 “連通罐”內的液麪構成，然後用傳感器進行測量。基於連通器工作原理，適合測量連續或不連續的大平面的平面度，但測量時間長，且對温度敏感，僅適用於測量精度較低的平面。

3、打表測量法。打表測量法是將被測零件和測微計放在標準平板上，以標準平板作為測量基準面，用測微計沿實際表面逐點或沿幾條直線方向進行測量。