硅的氣態氫化物是什麼

1、硅的氣態氫化物為硅烷；

2、硅烷是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷 、乙硅烷和一些更高級的硅氫化合物。目前應用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，可用於製造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實現精細控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應用於微電子、光電子工業， 用於製造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 並且是迄今世界上唯一的大規模生產粒狀高純度硅的中間產物。