特氣都包括哪些氣體
來源:生活大全幫 1.52W
氦、氖、氬、氪、氙、氡等。電子特氣廣泛應用於半導體、微電子和相關的太陽能電池等高科技產業,或用於薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗,或用作載氣、保護氣氛等等。
由於半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發展,科技對電子特氣的純度提出了越來越高的要求,電子特氣的的淨化愈加關鍵和重要。
氦、氖、氬、氪、氙、氡等。電子特氣廣泛應用於半導體、微電子和相關的太陽能電池等高科技產業,或用於薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗,或用作載氣、保護氣氛等等。
由於半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發展,科技對電子特氣的純度提出了越來越高的要求,電子特氣的的淨化愈加關鍵和重要。